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教你找出适用真空镀膜设备镀出产品掉膜的原因?

更新时间:2021-9-18    点击:5289次

真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具有很多种类,包括真空离子蒸发 ,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。真空镀膜设备在使用中也会很多问 题,比如镀出的产品掉膜。下面我们就来介绍一下真空镀膜设备镀出的产品掉膜原因。
1.产品表面的洁净度不够,离子源清洗氩气放大时间过长。
2.清洗时是否加了清洗剂,或者更换了清洗剂,建议使用纯水先试一下。
3.工艺参数是否变动,在膜厚和电流上可进行一些调整。

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